一、蓄熱式熱氧化焚燒爐 RTO(Regenerative Thermal Oxidizers)
原理是在高溫下將廢氣中的物(VOCs)氧化成對應(yīng)的二氧化碳和水，從而凈化廢氣，并回收廢氣分解時(shí)所釋放出來的熱量，三室RTO廢氣分解效率達(dá)到99%以上，熱回收效率達(dá)到95%以上。RTO主體結(jié)構(gòu)由燃燒室、蓄熱室和切換閥等組成。
氧化產(chǎn)生的高溫氣體流經(jīng)特制的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，此“蓄熱”用于預(yù)熱后續(xù)進(jìn)入的廢氣。從而節(jié)省廢氣升溫的燃料消耗。陶瓷蓄熱室應(yīng)分成兩個(gè)(含兩個(gè))以上，每個(gè)蓄熱室依次經(jīng)歷蓄熱-放熱-清掃等程序，周而復(fù)始，連續(xù)工作。蓄熱室“放熱”后應(yīng)立即引入適量潔凈空氣對該蓄熱室進(jìn)行清掃(以保證VOC率在98%以上)，待清掃完成后才能進(jìn)入“蓄熱”程序。否則殘留的VOCS隨煙氣排放到煙囪從而降低處理效率。目前RTO中用
蜂窩陶瓷蓄熱體為主。
二、蓄熱式催化劑焚燒爐 RCO(Regenerative Catalytic Oxidation)
排放自工藝含VOCs的廢氣進(jìn)入雙槽RCO，三向切換風(fēng)閥將此廢氣導(dǎo)入RCO的蓄熱槽而預(yù)熱此廢氣，含污染的廢氣被蓄熱陶塊漸漸地加熱后進(jìn)入催化床，VOCs在經(jīng)催化劑分解被氧化而放出于二蓄熱槽中之陶塊，用以減少燃料的消耗。陶塊被加熱，燃燒氧化后的干凈氣體逐漸降低溫度，因此出口溫度略高于RCO入口溫度。三向切換風(fēng)閥切換改變RCO出口/入口溫度。如果VOCs濃度夠高，所放出的足夠時(shí)，RCO即不需燃料。例如RCO熱回收效率為95%時(shí)，RCO出口較入口溫度高25℃而已。
三、直接燃燒焚燒爐(Direct Fired Thermal Oxidizer-DFTO)
直燃式焚燒爐的設(shè)計(jì)是依廢氣風(fēng)量，VOCs濃度及所需知破壞效率而定。操作時(shí)含VOCs的廢氣用系統(tǒng)風(fēng)機(jī)導(dǎo)入系統(tǒng)內(nèi)的換熱器，廢氣經(jīng)由換熱器管側(cè)而被加熱后，再通過燃燒器，這時(shí)廢氣已被加熱至催化分解溫度(650~1000℃)，并且有足夠的留置時(shí)間(0.5~2.0秒)。這時(shí)會發(fā)生熱反應(yīng)，而VOCs被分解為二氧化碳及水氣。之后此一熱且經(jīng)凈化氣體進(jìn)入換熱器之殼側(cè)將管側(cè)(tubeside)未經(jīng)處理的VOC廢氣加熱，此換熱器會減少能源的消耗(甚至于某適當(dāng)?shù)腣OCs濃度以上時(shí)便不需額外的燃料)，后，凈化后的氣體從煙囪排到大氣中。
四、濃縮轉(zhuǎn)輪/焚燒爐(Rotor Concentrator/Oxidizer)
濃縮轉(zhuǎn)輪/焚燒爐系統(tǒng)吸附大風(fēng)量低濃度揮發(fā)性化合物(VOCs)。再把脫附后小風(fēng)量高濃度廢氣導(dǎo)入焚燒爐予以分解凈化。大風(fēng)量低濃度的VOCs廢氣，通過一個(gè)由沸石為吸附材料的轉(zhuǎn)輪，VOCs經(jīng)被轉(zhuǎn)輪吸附區(qū)的沸石所吸附后凈化的氣體經(jīng)煙囪排到大氣，再于脫附區(qū)中用180℃~200℃的小量熱空氣，將VOCs予以脫附。如此一高濃度小風(fēng)量的脫附廢氣在導(dǎo)入焚燒爐中予以分解為二氧化碳及水氣，凈化的氣體經(jīng)煙囪排到大氣。這一濃縮的工藝**地降低燃料費(fèi)用。
五、催化劑焚燒爐(Catalytic Oxidizer)
催化劑焚燒爐的設(shè)計(jì)是依廢氣風(fēng)量，VOCs濃度及所需知破壞效率而定。操作時(shí)含VOCs的廢氣用系統(tǒng)風(fēng)機(jī)導(dǎo)入系統(tǒng)內(nèi)的換熱器，廢氣經(jīng)由換熱器管側(cè)而被加熱后，再通過燃燒器，這時(shí)廢氣已被加熱至催化分解溫度，再通過催化劑床，催化分解會釋放，而VOCs被分解為二氧化碳及水氣。之后此一熱且經(jīng)凈化氣體進(jìn)入換熱器之殼側(cè)將管側(cè)未經(jīng)處理的VOC廢氣加熱，此換熱器會減少能源的消耗，后，凈化后的氣體從煙囪排到大氣中。
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